巴魯夫BALLUFF位移傳感器測量時，電子倉中的激勵模塊在敏感檢測元件（磁致伸縮波導絲）兩端施加一查詢脈沖，該脈沖以光速在波導絲周圍形成周向安培環(huán)形磁場，該環(huán)形磁場與游標磁環(huán)的偏置永磁磁場發(fā)生耦合作用時，會在波導絲的表面形成魏德曼效應扭轉(zhuǎn)應力波，扭轉(zhuǎn)波以聲速由產(chǎn)生點向波導絲的兩端傳播，傳向末端的扭轉(zhuǎn)波被阻尼器件吸收，巴魯夫BALLUFF位移傳感器傳向激勵端的信號則被檢波裝置接收，電子倉中的控制模塊計算出查詢脈沖與接收信號間的時間差，利用磁致伸縮原理、通過兩個不同磁場相交產(chǎn)生一個應變脈沖信號來準確地測量位置的。測量元件是一根波導管，波導管內(nèi)的敏感元件由特殊的磁致伸縮材料制成的。測量過程是由傳感器的電子室內(nèi)產(chǎn)生電流脈沖，巴魯夫BALLUFF位移傳感器電流脈沖（也稱“詢問信號”）沿著傳感器內(nèi)以磁致伸縮材料制造的波導管以聲音的速度運行，從而在波導管外產(chǎn)生一個圓周磁場，波導管發(fā)生磁致伸縮現(xiàn)象（鐵磁性物質(zhì)在外磁場作用下，其尺寸伸長或縮短，去掉外磁場后，其又恢復原來的長度），產(chǎn)生一個應變脈沖。巴魯夫BALLUFF位移傳感器應變脈沖（也稱“返回信號”）很快便被電子頭的感測電路探測到。

巴魯夫BALLUFF位移傳感器現(xiàn)在測量一維振動的傳?感器很多，采用的方式也很多，但是應用在微振動和?低頻振動的卻比較少，而測量三維振動的傳感器就更不多了?，F(xiàn)有的測量三維瞬間振動和低頻振動的測振儀，主要應用在爆破測試方面，而測三維加速度的傳?感器，測量和記錄三個方面的沖擊振動，主要運用在公路運輸和貨物運輸?shù)确矫?。這些三維測振傳感器主要是壓電式，巴魯夫BALLUFF位移傳感器測高頻振動和瞬間沖擊的效果很好；因為半導體應變片作為力敏器件的一種，其自身具有靈敏度高、動態(tài)響應快、測量精度高、穩(wěn)?定性好、功耗低、壽命長、抗干擾性強、可靠性高等優(yōu)點，能有效地測量微振動和低幅振動，而且體積比?較小，小于0．3m3，基本上實現(xiàn)了微型化，巴魯夫BALLUFF位移傳感器可以應用在一些需要測量三維振動的微工作臺和精密加工等方面。

巴魯夫BALLUFF位移傳感器在機械結(jié)構(gòu)的空間設計上，三維互相對稱的結(jié)構(gòu)保證了三維測量的情況盡量接近l2?J。在設計中，主要考慮了以下幾個方面：一是振子的平衡問題；二是振子的振動特性；三是如何能同時測量三個方向上的振動情況而各個方向卻互不影響；四是片簧以及彈簧對振子的影響。三組彈簧也就是每一維方向上兩個彈簧來支撐，前后左右的四個彈簧無論長度與粗細都是一樣的，上下兩個彈簧長度不同，但粗細也就是倔強系數(shù)是相同的。巴魯夫BALLUFF位移傳感器這三組彈簧對振子起到支撐作用的主要是上下兩個彈簧，前后左右四個是保持其振動的平衡性，還可以通?過調(diào)節(jié)螺栓1(每個方向上都有2個)來保證振子處于某個平衡的位置。